Das Dienstleistungszentrum TT-DINEMA setzt sich aus zwei wesentlichen Elementen zusammen: einer modular aufgebauten Industrie-Sputteranlage und einer SPS-Anlagezur vor-Ort-Herstellung gesinterter Sputtertargets. Die Sputteranlage ermöglicht das Prozessieren von Wafern bis zu einer Größe von 200 mm mit industriellen Maßstäben. Die in der Anlage verwendeten Targets können auf der SPS-Anlage in Verbindung mit vorhandenen Geräten (Lichtbogenofen, Öfen für Festkörperreaktionen) selbst produziert werden. Diese einmalige Kombination ermöglicht es, dass das Dienstleistungszentrum TT-DINEMA einen weiten Bogen von der angewandten Materialforschung bis hin zur Herstellung von Demonstratoren schlägt. Es können je nach Bedarf kundenspezifische Targets direkt vor Ort hergestellt und in der Magnetronsputteranlage zur Dünnschichtpräparation verwendet werden. Dieses Konzept der kurzen Wege erlaubt eine hochflexible anfrageorientierte Deviceentwicklung, die im Vergleich zu üblichen Entwicklungsstrukturen in industrieller Umgebung schnell und damit kostengünstig ist.
Mikro- und Nanostrukturierungsarbeiten, die für die Herstellung der Bauelemente notwendig sind, können bei unserem Partner am Landesforschungszentrum OPTIMAS in Kaiserslautern durchgeführt werden.